Padanan Siri RMA
-
Padanan Siri RMA
Ia boleh disesuaikan dengan bekalan kuasa RF siri RLS, dan digunakan secara meluas dalam etsa plasma, salutan, pembersihan plasma, degumming plasma dan proses lain.Apabila digunakan secara bersendirian, ia boleh digunakan bersama dengan bekalan kuasa RF pengeluar lain.