TEL: +86 19181068903

Bekalan Kuasa Sputtering Frekuensi Sederhana Siri MSB

Penerangan Ringkas:

Bekalan kuasa RF siri RHH bergantung pada teknologi penjanaan RF matang untuk menyediakan pelanggan dengan bekalan kuasa RF dengan kuasa yang lebih besar, ketepatan yang lebih tinggi dan tindak balas yang pantas.Dengan fasa boleh ditetapkan, nadi boleh dikawal, penalaan digital dan fungsi lain.Bidang yang berkenaan: industri fotovoltaik, industri paparan panel rata, industri semikonduktor, industri kimia, makmal, penyelidikan saintifik, pembuatan, dll.

Proses yang berkenaan: pemendapan wap kimia dipertingkatkan plasma (PECVD), goresan plasma, pembersihan plasma, sumber ion frekuensi radio, resapan plasma, pempolimeran plasma sputtering, reaktif sputtering, dsb.


Butiran Produk

Tag Produk

Hantar e-mel kepada kami

ciri-ciri

● Gaya lekap separuh bata dan rak

● Gunakan kawalan digital penuh, dengan menu operasi yang mudah dan kaya

● Penalaan kekerapan, nadi dan fungsi penyegerakan nadi

● Dengan fungsi penyegerakan fasa CEX

● Fungsi perlindungan yang sempurna

Butiran Produk

Input Voltan masukan: AC220V±10% 3ΦAC380V±5%(Spesifikasi khas boleh disesuaikan)
Kekerapan input: 47~63Hz
Pengeluaran Kekerapan output: 13.56MHz, 27.12MHz, 40.68MHz
Julat penalaan: ±5%
Kuasa keluaran: 1.5~5kW
Julat peraturan kuasa keluaran: 1~100%
Galangan keluaran: 50Ω+j0
Antara muka keluaran: jenis N
Mod keluaran: berterusan, nadi
Kekerapan nadi: 100Hz~100kHz
Kitaran tugas: 5~95%
Indeks prestasi Faktor kuasa: 0.98
Ketepatan kestabilan frekuensi: ±0.005%
Kecekapan: 75% (pada output dinilai)
Harmonik: <-45dBc
Sesat: <-50dBc
Antara muka kawalan luaran: kuantiti analog, komunikasi dan penyegerakan
Mod komunikasi: Antara muka komunikasi RS485 standard;CAT Eter pilihan, Ethernet industri, dsb.
Nota: produk terus berinovasi dan prestasi terus bertambah baik.Perihalan parameter ini adalah untuk rujukan sahaja.


  • Tulis mesej anda di sini dan hantar kepada kami

    Kategori produk

    Tinggalkan Mesej Anda