Kuasa Gelombang Mikro
-
Kuasa Gelombang Mikro
Bekalan kuasa pensuisan gelombang mikro ialah jenis bekalan kuasa gelombang mikro baharu berdasarkan teknologi penyongsang frekuensi tinggi IGBT.Ia menyepadukan bekalan kuasa voltan tinggi anod, bekalan kuasa filamen dan bekalan kuasa medan magnet (kecuali bekalan kuasa gelombang mikro 3kW).Magnetron gelombang menyediakan keadaan kerja.Produk ini digunakan dalam MPCVD, etsa plasma gelombang mikro, degumming plasma gelombang mikro dan bidang lain.